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隨著技術進步和多波束光罩寫入器的成熟，全晶片規模的 ILT 成為最先進製程節點關鍵的可行方案之一。在本演講中，我們將展示如何運用機器學習將 ILT 解決方案擴展到全晶片設計的途徑。
